тел.+7 (473)-254-2000; e-mail: mail@wikingi.ru
Фоторезист позитивный
ФП-383
ТУ 6-14-632-86
| Наименование параметра | Значение |
| Внешний вид | прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка |
|---|---|
| Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более | 2 |
| Массовая доля воды, %, не более | 0,6 |
| Массовая доля сухого остатка, %, в пределах | 19,0-22,0 |
| Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах | 11,5-15,0 |
| Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах | 6,0-6,5 |
| Внешний вид пленки фоторезиста | прозрачная, блестящая без разрывов |
| Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм | 2,0±0,3 |
| Толщина пленки, мкм | 1,1±0,1 |
| Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее | 180 |
| Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более | 0,10 |
|
Гарантийный срок хранения - 6 месяцев Применяется для выполнения фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов и схем, металлизированных шаблонов, печатных плат. Представляет собой раствор светочувствительного о-нафтохинондиазида и фенолоформальдегидных смол в диоксане. | |
