тел.+7 (473)-254-2000; e-mail: mail@wikingi.ru
Фоторезист позитивный
ФП-25
ТУ 6-14-531-89
| Наименование параметра | Значение |
| Внешний вид | жидкость красно-коричневого цвета без осадка |
|---|---|
| Кинематическая вязкость при температуре (20,0±0,2)°С, мм2/с, в пределах | 52-75 |
| Толщина пленки фоторезиста при её формировании на центрифуге с частотой вращения 30сек-1 ±10% мкм, в пределах | 6-8 |
| Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, мин, не менее | 7 |
| Плотность кратеров в плёнке фоторезиста см-2, не более | 0,04 |
| Устойчивость пленки к травителю для кремния (HF+HNO3+CH3COOH - 1:10:1), мин, не менее | 14,0 |
| Проявитель | 0,5%-й водный р-р КОН |
|
Гарантийный срок хранения - 6 месяцев | |
