тел.+7 (473)-254-2000; e-mail: mail@wikingi.ru
Позитивный электронный
резист ЭЛП-20
ТУ 6-36-4643693-8-89
| Наименование параметра | Значение |
| Внешний вид | Прозрачная жидкость слегка желтоватого цвета |
|---|---|
| Кинематическая вязкость при температуре (20,0±0,1)°С,мм2/с, в пределах | 20-25 |
| Массовая доля сухого остатка, %, в пределах | 9-11 |
| Внешний вид пленки электронного резиста | блестящая, без разрывов и без радиальных полос |
| Чувствительность пленки резиста к электронам с энергией 10 кэВ, мкКл/см2, в пределах | 9,3-12,0 |
| Контрастность пленки резиста, в пределах | 2,3-2,5 |
| Рекомендуемый проявитель | метилэтилкетон + изопропиловый спирт в соотношении 1:3 |
|
Гарантийный срок хранения - 6 месяцев Используется при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и фотошаблонов электронолитографическим методом. | |
